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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH01217919(A) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19880042254 申请日期 1988.02.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKEHARA NAOKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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