发明名称 CRYSTAL GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01218009(A) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19880044729 申请日期 1988.02.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIKIYOU NOBUAKI
分类号 H01L21/203;H01L21/20;H01L21/304 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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