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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD AND APPARATUS, AND METHOD OF CLEANING REACTOR IN APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01218010(A) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19880044012 申请日期 1988.02.26
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 KOMURA YUKIO;ISHIDA SADANORI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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