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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01217921(A) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19880042351 申请日期 1988.02.26
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 URISU TSUNEO;UCHIUMI YUICHI;TAKAHASHI JUNICHI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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