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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH01218043(A) 申请公布日期 1989.08.31
申请号 JP19880044905 申请日期 1988.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI TORU;TSUGE HISANAO
分类号 H01L21/28;C23C16/20;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/768;H01L39/24 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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