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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01216539(A) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 JP19880043234 申请日期 1988.02.25
申请人 SONY CORP 发明人 MORITA YASUSHI;NODA JITSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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