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发明名称 FORMING METHOD FOR PATTERN WITH SILICONE RESIN
摘要
申请公布号 JPH01216543(A) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 JP19880040707 申请日期 1988.02.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 IKITSU HIDEO
分类号 H01L21/312;H01L21/31 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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