发明名称 METHOD FOR TESTING LSI CIRCUIT AND LSI CIRCUIT FOR EXECUTING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH01217274(A) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 JP19880042227 申请日期 1988.02.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WADA NOBUYUKI;HANABATAKE TOSHIO;SAKATA TAKASHI
分类号 G01R31/317;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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