发明名称 AVERAGING DIFFRACTION MOIRE POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH01217211(A) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 JP19880043402 申请日期 1988.02.26
申请人 OKUMA MACH WORKS LTD 发明人 MATSUI KEIJI
分类号 G01D5/38;G01B11/00;G01D5/36 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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