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发明名称
AVERAGING DIFFRACTION MOIRE POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH01217211(A)
申请公布日期
1989.08.30
申请号
JP19880043402
申请日期
1988.02.26
申请人
OKUMA MACH WORKS LTD
发明人
MATSUI KEIJI
分类号
G01D5/38;G01B11/00;G01D5/36
主分类号
G01D5/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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