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发明名称
摘要
申请公布号	DE2118609(A1)	申请公布日期	1971.10.28
申请号	DE19712118609	申请日期	1971.04.16
申请人		发明人
分类号	G03F7/038;(IPC1-7):G03C/	主分类号	G03F7/038
代理机构		代理人
主权项
地址

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