| 发明名称 |
APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01215793(A) |
申请公布日期 |
1989.08.29 |
| 申请号 |
JP19880041532 |
申请日期 |
1988.02.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
KONO SHINICHI;NAKANISHI HIROMITSU;MIWA TAKAHIRO |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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