| 发明名称 |
FORMATION OF THIN METAL OXIDE SUPERCONDUCTING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01215968(A) |
申请公布日期 |
1989.08.29 |
| 申请号 |
JP19880039432 |
申请日期 |
1988.02.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAZAWA YOSHIAKI;KOMURO MATAHIRO;KOZONO YUZO |
| 分类号 |
H01L39/24;C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/58;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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