发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01215041(A) 申请公布日期 1989.08.29
申请号 JP19880041100 申请日期 1988.02.24
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO;OSHIMA TAKEFUMI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/84;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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