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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH01215041(A)
申请公布日期
1989.08.29
申请号
JP19880041100
申请日期
1988.02.24
申请人
SONY CORP
发明人
HAYASHI HISAO;OSHIMA TAKEFUMI
分类号
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/84;H01L27/12
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
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