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发明名称
METHOD FOR ROUGHENING LITHOGRAPHIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH01215591(A)
申请公布日期
1989.08.29
申请号
JP19880041008
申请日期
1988.02.24
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
MATSUI KUNIAKI;NAKAIZUMI KIYOHARU
分类号
B41N3/00;C25F3/04
主分类号
B41N3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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