| 发明名称 |
WAFER SCALE INTEGRATION TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01214152(A) |
申请公布日期 |
1989.08.28 |
| 申请号 |
JP19880040014 |
申请日期 |
1988.02.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MORIMOTO HIROAKI;OKAMOTO TATSURO;HATTA MUNEO |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
