发明名称 GATE ELECTRODE AND WIRING AND THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01214067(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880039861 申请日期 1988.02.22
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAOKI
分类号 H01L29/41;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/3205;H01L21/338;H01L23/52;H01L29/417;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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