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发明名称 NEUTRAL PARTICLE INCIDENCE DEVICE UTILIZING NEGATIVE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH01213998(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880037627 申请日期 1988.02.22
申请人 JAPAN ATOM ENERGY RES INST 发明人 MATSUOKA MAMORU;ARAKI MASANORI
分类号 H05H1/22;H05H3/00 主分类号 H05H1/22
代理机构 代理人
主权项
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