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发明名称 FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01214120(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880038592 申请日期 1988.02.23
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 IWATATE KAZUMI;MATSUDA KOREHITO
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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