| 发明名称 |
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR CHARACTERISTICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01214134(A) |
申请公布日期 |
1989.08.28 |
| 申请号 |
JP19880040008 |
申请日期 |
1988.02.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMANO TAKESHI;IKEDA MIKIO;ODA SHUICHI;FUJINAGA MASATO;TATEISHI JUNJI;SHIRAHATA MASAYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R1/073;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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