| 发明名称 |
EVALUATION METHOD AND DEVICE FOR FILM THICKNESS UNIFORMITY AND AUTOMATIC CONTROL METHOD AND DEVICE FOR FILM THICKNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01214564(A) |
申请公布日期 |
1989.08.28 |
| 申请号 |
JP19880036499 |
申请日期 |
1988.02.20 |
| 申请人 |
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE |
发明人 |
YAMADA YOSUKE |
| 分类号 |
G01B21/08;B29C47/00;B65H26/02 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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