发明名称 MANUFACTURE OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE USING GALLIUM ARSENIDE
摘要
申请公布号 JPH01211976(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036971 申请日期 1988.02.18
申请人 NEC CORP 发明人 FUJIEDA SHINJI
分类号 H01L29/78;H01L21/314;H01L21/318 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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