| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE AND MICROWAVE INTRODUCING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01212758(A) |
申请公布日期 |
1989.08.25 |
| 申请号 |
JP19880035349 |
申请日期 |
1988.02.19 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MATSUOKA SHIGETO;ONO KENICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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