发明名称 HEAT RESISTANCE MEASURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01211938(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880035104 申请日期 1988.02.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NISHIMURA KAZUTOSHI;MURATA SETSUKO
分类号 G01N27/00;H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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