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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE FOR OBSERVING ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH01211842(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036676 申请日期 1988.02.19
申请人 NIPPON DEMPA KOGYO CO LTD 发明人 ONO KOZO;URASHIMA TOSHIYOSHI;NAKAMURA TOMOKO
分类号 H01J37/20;H01J37/16 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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