发明名称 SUBSTRATE HOLDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01211850(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036578 申请日期 1988.02.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NOGAMI TSUKASA
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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