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发明名称 FORMATION OF DEPOSITED FILM BY PHOTOCHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH01212768(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036122 申请日期 1988.02.18
申请人 CANON INC 发明人 OKAMURA NOBUYUKI;TAKABAYASHI MEIJI
分类号 C23C16/30;C23C16/48 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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