MANUFACTURE OF TRANSPARENT ALUMINUM NITRIDE FILM,申请号JP19880037160-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF TRANSPARENT ALUMINUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号	JPH01212751(A)	申请公布日期	1989.08.25
申请号	JP19880037160	申请日期	1988.02.19
申请人	HITACHI LTD	发明人	OHATA KOKICHI;SATO TADASHI
分类号	C23C14/06	主分类号	C23C14/06
代理机构		代理人
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