发明名称 METHOD FOR REFINNING OF MATERIAL FOR SOURCE OF MOLECULAR BEAM AND MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH01212723(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880034754 申请日期 1988.02.17
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KIMURA KOZO
分类号 C30B23/08;C22B9/00;C22B58/00;C30B29/42 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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