发明名称 |
THIN FILM HYBRID IC DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01212457(A) |
申请公布日期 |
1989.08.25 |
申请号 |
JP19880037828 |
申请日期 |
1988.02.20 |
申请人 |
FUJITSU GENERAL LTD |
发明人 |
YAMAMOTO MASUMI;UEMA TSUNEAKI |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/78;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/01;H01L27/06;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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