发明名称 CASSETTE TYPE VERTICAL CONVEYANCE CONTINUOUS FURNACE
摘要
申请公布号 JPH01212887(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880037145 申请日期 1988.02.19
申请人 MUNEHIRA SEISHIROU 发明人 MUNEHIRA SEISHIROU
分类号 H01L21/22;F27B9/00;H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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