| 发明名称 |
LASER CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS USING BEAM TRANSMISSION BY OPTICAL FIBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01212770(A) |
申请公布日期 |
1989.08.25 |
| 申请号 |
JP19880301143 |
申请日期 |
1988.11.30 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO <GE> |
发明人 |
TSUSHIYAA SHIYASHIKANTO CHIYANDE |
| 分类号 |
C30B25/00;C23C16/04;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/263 |
主分类号 |
C30B25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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