发明名称 THIN FILM-FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01212761(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036082 申请日期 1988.02.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANAI MASAHIRO
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
地址