| 发明名称 |
NOVEL FILM HAVING DISTRIBUTION IN COEFFICIENT OF THERMAL EXPANSION AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01210430(A) |
申请公布日期 |
1989.08.24 |
| 申请号 |
JP19880035016 |
申请日期 |
1988.02.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
NUMATA SHUNICHI;FUJISAKI KOJI;IKEDA TAKAE;MIWA TAKAO;OGIWARA SATORU;MIYAZAKI KUNIO |
| 分类号 |
H01L21/60;C08J5/18;H05K1/03;H05K1/14 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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