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经营范围
发明名称
PATTERN HEIGHT DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH01210853(A)
申请公布日期
1989.08.24
申请号
JP19880035974
申请日期
1988.02.18
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ANDO MORITOSHI;OKA KOJI;IWATA SATOSHI
分类号
G01B11/02;G01N21/88;G01N21/956;H05K3/00
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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