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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DUENNER SCHICHTEN AUS OXYDISCHEM HOCHTEMPERATUR-SUPRALEITER
摘要
申请公布号 DE3805010(A1) 申请公布日期 1989.08.24
申请号 DE19883805010 申请日期 1988.02.18
申请人 KERNFORSCHUNGSANLAGE JUELICH GMBH, 5170 JUELICH, DE 发明人 POPPE, ULRICH, DR.;SCHUBERT, JUERGEN, 5000 KOELN, DE;EVERS, WILHELM, 5170 JUELICH, DE
分类号 C23C14/08;H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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