发明名称 DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2213835(A) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 GB19870029547 申请日期 1987.12.18
申请人 * THE GENERAL ELECTRIC COMPANY PLC 发明人 DOUGLAS BOYD * MEAKIN
分类号 C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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