发明名称 SILICON GIGABITS PER SECOND METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR DEVICE PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0150582(B1) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 EP19840308209 申请日期 1984.11.27
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 KO, PING KEUNG
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/336;H01L29/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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