发明名称 |
SILICON GIGABITS PER SECOND METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR DEVICE PROCESSING |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0150582(B1) |
申请公布日期 |
1989.08.23 |
申请号 |
EP19840308209 |
申请日期 |
1984.11.27 |
申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
KO, PING KEUNG |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/336;H01L29/08 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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