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发明名称
摘要
申请公布号 JPH01123856(U) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 JP19880016725U 申请日期 1988.02.10
申请人 发明人
分类号 C23C16/48;G03F1/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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