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发明名称 VERFAHREN ZUM PLASMACHEMISCHEN AETZEN VON A TIEF III B TIEF V-VERBINDUNGS- UND MISCHVERBINDUNGSHALBLEITERN
摘要
申请公布号 DD271196(A1) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 DD19880313761 申请日期 1988.03.18
申请人 VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 JANIETZ,PETER-JOHANNES,DD;REHAK,WOLFGANG,DD;KUPFER,MICHAEL,DD;PROESCH,ULLRICH,DD
分类号 C23F1/12;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
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