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发明名称 VACUUM DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号 GB2213836(A) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 GB19870029548 申请日期 1987.12.18
申请人 * THE GENERAL ELECTRIC COMPANY PLC 发明人 DOUGLAS BOYD * MEAKIN
分类号 C23C16/24;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/316 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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