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发明名称 ROBOTIC DISK HANDLER SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0222459(A3) 申请公布日期 1989.08.23
申请号 EP19860201976 申请日期 1986.11.12
申请人 KOMAG, INC. 发明人 ALLEN, RONALD;CHEN, TU
分类号 C23C14/50;B25J9/00;B25J17/02;G11B5/84;G11B5/85;G11B5/851;G11B23/00;G11B23/03;G11B23/113;(IPC1-7):G11B23/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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