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发明名称
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申请公布号 JPH01123339(U) 申请公布日期 1989.08.22
申请号 JP19880018771U 申请日期 1988.02.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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