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发明名称 SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH01208830(A) 申请公布日期 1989.08.22
申请号 JP19880032856 申请日期 1988.02.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKUDA TETSUO
分类号 H01L29/167;H01L21/02;H01L21/322 主分类号 H01L29/167
代理机构 代理人
主权项
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