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发明名称 PRODUCTION OF METALLIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01208453(A) 申请公布日期 1989.08.22
申请号 JP19880034209 申请日期 1988.02.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI SHIGEO;YAMAMOTO YOSHIAKI;ANDO TOMOAKI;SHINTAKU HIDENOBU
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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