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发明名称 SURFACE MODIFICATION
摘要
申请公布号 JPH01207930(A) 申请公布日期 1989.08.21
申请号 JP19880031877 申请日期 1988.02.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KINOSHITA HARUHISA
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/318 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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