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发明名称 ULTRASONIC VIBRATION-TYPE SILICON SOURCE VAPORIZATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01207922(A) 申请公布日期 1989.08.21
申请号 JP19880031826 申请日期 1988.02.16
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 KONO SHINICHI;NAKANISHI KOUEN;MIWA TAKAHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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