发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01207931(A) 申请公布日期 1989.08.21
申请号 JP19880031873 申请日期 1988.02.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATANAKA MASANOBU
分类号 H01L21/318;H01L21/31 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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