| 发明名称 |
PATTERN AND METHOD FOR CAPACITY MEASURING IN SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01206642(A) |
申请公布日期 |
1989.08.18 |
| 申请号 |
JP19880030812 |
申请日期 |
1988.02.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SHIGAKI MASAFUMI;SAITO TAMIO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R27/26;H01L21/338;H01L21/66;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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