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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01206623(A) 申请公布日期 1989.08.18
申请号 JP19880032455 申请日期 1988.02.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ITO HITOSHI
分类号 H01L21/285;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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