发明名称 COPPER WIRING METHOD FOR VLSI
摘要
申请公布号 JPH01204449(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880027543 申请日期 1988.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKADA SHINICHI;KAWABUCHI YASUSHI;ONUKI HITOSHI;MIYAZAKI KUNIO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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